5月31日，第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会在安徽蚌埠举行。大会以“芯聚江淮 智感世界”为主题，来自国内外院士专家、行业协会负责人、企业家、投资机构代表等900余人齐聚珠城共襄盛会，共商产业发展大计、共绘协同创新蓝图。

李乐/摄（下同）

蚌埠是中国三大传感器研发制造基地之一，深耕MEMS传感器30余年，是安徽省唯一、全国为数不多的同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市。目前，全市已集聚智能传感产业相关企业200余家，形成了涵盖材料装备、研发设计、晶圆制造、封装测试、终端应用的产研一体、链群共生的发展格局，中国传感谷跻身全国十大高质量传感器园区第六位。

开幕式上，异质异构集成微系统全国重点实验室成功揭牌，“MEMS-OCS（光交叉互联芯片）微纳集成工艺体系”“CavPiezo（Cavity-SOI Piezo，空腔型绝缘体上硅基压电MEMS 工艺体系）工艺体系”“SMCD（Surface Micromechanical Capacitive Device:表面微机械电容式器件工艺体系）工艺体系”等三套原创工艺技术和七款产品正式发布，破解了微纳领域核心技术瓶颈，搭建了自主可控技术与产业体系。

大会发布了蚌埠市首轮MEMS工程流片券政策。按照这一政策，企业最高可按其流片费用的50%获得补助，每家企业每年获得的补助总额最高可达500万元，能够进一步降低企业MEMS工程流片成本，助力芯片、器件、模组等关键技术研发与成果转化，推动蚌埠智能传感产业高质量发展。

大会期间，《集成传感与微系统》期刊正式发布，该期刊旨在打造高水平的学术交流平台，致力于推动从集成器件、智能传感到微系统集成的全产业链创新融合，汇聚科研智慧，助力关键核心技术突破。大会还推介了中国传感谷和《支持中国传感谷发展若干政策（2.0版）》，举行了智能传感产业创新创业大赛颁奖活动。总协议金额45.8亿元的20个智能传感项目在会上进行展示。

来源：新民晚报 作者：毛丽君